亞納米成為“中國精度”
最新發(fā)現(xiàn)與創(chuàng)新
中國科技網(wǎng)訊 1納米是一根頭發(fā)絲的8萬分之一，而小于1納米則被稱為亞納米——這是國防科大精密工程創(chuàng)新團(tuán)隊在超精密光學(xué)零件加工中創(chuàng)造的“中國精度”,，有力支撐了“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”等3個國家重大科技專項(xiàng)創(chuàng)新突破，3年來為國家創(chuàng)造直接經(jīng)濟(jì)效益2億多元,。近日，該校研制兩種超精拋光裝備通過國家重大科技專項(xiàng)驗(yàn)收,。
超精密加工是以高精度為目標(biāo)的先進(jìn)制造技術(shù),，納米精度被譽(yù)為超精密加工技術(shù)皇冠上的明珠,，西方發(fā)達(dá)國家將其視為戰(zhàn)略資源，嚴(yán)格限制出口,。面對我國光學(xué)零件制造水平的窘境,，國防科大精密工程創(chuàng)新團(tuán)隊在李圣怡教授率領(lǐng)下，跳過一,、二代光學(xué)零件制造加工技術(shù),，直接瞄準(zhǔn)基于可控柔體制造的第三代光學(xué)加工方法開展攻關(guān),，在國內(nèi)首次研制出擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的磁流變、離子束兩種超精拋光裝備,，創(chuàng)造了我國光學(xué)零件加工亞納米的“中國精度”奇跡，使我國光學(xué)自動化加工技術(shù)及工藝一躍進(jìn)入世界先進(jìn)水平，成為繼美,、德之后第三個掌握高精度光學(xué)零件制造加工技術(shù)的國家,，也是目前世界上唯一同時具有磁流變和離子束拋光裝備研發(fā)能力的國家,。
近3年來，該團(tuán)隊與中科院,、中國航天科技集團(tuán)、中國航空工業(yè)集團(tuán)等合作,，推動我國空間光學(xué),、高端裝備制造發(fā)展，自主研制出兩大類7個型號的磁流變和離子束拋光機(jī)床,，為“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”“高分辨率對地觀測系統(tǒng)”等3個國家重大科技專項(xiàng)提供技術(shù)保障和裝備支撐,，解決了一系列制約其創(chuàng)新發(fā)展的技術(shù)難題,。團(tuán)隊先后獲得科技部重大科技專項(xiàng)頒發(fā)的“突出貢獻(xiàn)獎”和“突出成果獎”。（特約記者 王握文 王孝恭 記者唐先武）
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